بررسی تأثیر ضخامت بر خواص لایه‌های نازک تیتانیم ایجاد شده توسط فرآیند پراکنش مگنترونی DC

فرآیندهای نوین در مهندسی مواد

مقاله 8، دوره 5، شماره 3، آذر 1390، صفحه 65-71   

نوع مقاله: علمی-پژوهشی

نویسندگان

علی امیرعبداللهیان¹؛ عبداله افشار²

¹دانش آموخته کارشناسی ارشد خوردگی و حفاظت مواد، دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه آزاد اسلامی، واحد علوم و تحقیقات، تهران

²استاد، دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه صنعتی شریف، تهران