ساخت تراشه میکروشاره با میکروماشین‌کاری لیزری

دوفصلنامه فیزیک اتمی و مولکولی

مقاله 4، دوره 6، شماره 24، آذر 1394، صفحه 35-41   

نوع مقاله: پژوهشی

چکیده

در این مقاله از ماشین­کاری پلیمر PMMA با لیزر ₂CO به منظور ایجاد مجراهای دو بعدی میکرو (با ابعاد کمتر از 500 میکرون) استفاده شده است. به منظور ایجاد کانال میکرو، نمونه با دو شاریدگی J/cm² 9/44و 4/48  و سرعت­های پایش متفاوت از مرتبه μm/s 500-63 توسط لیزر ₂CO پالسی مورد تابش قرار گرفته است و در مراحل بعدی برای تکمیل تراشه میکرو شاره، تراشهT  شکل توسط لیزرهای ₂CO به پلیمر جوش داده شده­است. نتایج حاکی ازعملکرد بهتر لیزر ₂COپیوسته نسبت به پالسی برای اتصال تراشه میکروشاره است.

کلیدواژه‌ها

تراشه میکرو شاره؛ لیزر گازی